
Ġeneratur tal-ossiġnu PSA għal semikondutturi
Deskrizzjoni
Parametri tekniċi
Għaliex l-industrija tas-semikondutturi teħtieġ ġeneraturi ta 'ossiġnu PSA?
Provvista ta 'gass ta' purità għolja:Il-manifattura tas-semikondutturi għandha rekwiżiti stretti fuq il-purità tal-gass, u l-ossiġnu ta 'purità għolja huwa indispensabbli għal-litografija, tindif u links oħra. Bl-għajnuna ta 'teknoloġija ta' adsorbiment ta 'tbandil ta' pressjoni, il-ġeneratur ta 'l-ossiġnu PSA jipproduċi ossiġnu b'purità ta' 95% ± 3%, li jissodisfa r-rekwiżiti ta 'formazzjoni ta' saff ta 'ossidu u tindif tal-wejfer, u jevita r-riskju ta' kontaminazzjoni ta 'impurità ta' provvista ta 'ossiġnu ta' ċilindru tal-gass tradizzjonali.
Tiżgura l-istabbiltà tal-proċess:Linji ta 'produzzjoni tas-semikondutturi jeħtieġu provvista ta' gass kontinwu u stabbli. Il-ġeneratur tal-ossiġnu PSA juża torrijiet ta 'adsorbiment doppju biex jaħdem alternattivament, u permezz ta' kontroll intelliġenti PLC, jista 'jikseb 24- siegħa ta' provvista ta 'ossiġnu bla interruzzjoni, jevita interruzzjonijiet tal-produzzjoni kkawżati minn sostituzzjoni tal-flixkun manwali, u jadattaw għal proċessi sensittivi għall-pressjoni ta' l-arja bħal deposizzjoni ta 'film irqiq u inċiżjoni.
Naqqas l-ispejjeż u ottimizza l-ispazju:Meta mqabbel ma 'tankijiet tal-ħażna tal-ossiġnu likwidu u ċilindri tal-gass bi pressjoni għolja, il-ġeneraturi tal-ossiġnu PSA jipproduċu ossiġnu fuq il-post, u jnaqqsu ħafna l-ispejjeż tat-trasport u l-ħażna. Għandu marka żgħira u jappoġġja espansjoni modulari, li tissodisfa l-bżonnijiet tal-massimizzazzjoni tal-użu tal-ispazju f'workshops nodfa ta 'fabbriki tas-semikondutturi. L-ispiża fl-użu fit-tul hija madwar 20% inqas mill-metodu tradizzjonali.
Adatta għal proċessi speċjali:Fi proċessi avvanzati, xi proċessi speċjali jeħtieġu kontroll preċiż tal-konċentrazzjoni tal-ossiġnu. Il-ġeneratur tal-ossiġnu PSA jista 'jaġġusta b'mod flessibbli l-purità tal-ħruġ tal-ossiġnu (95% -99. 9%) billi jaġġusta l-pressjoni tal-adsorbiment u l-proporzjon tal-passatur molekulari biex jissodisfa r-rekwiżiti speċjali tal-proċess tal-manifattura tal-memorja flash 3D NAND.
Favur l-ambjent u faċli biex tinżamm:It-teknoloġija PSA ma teħtieġx reaġenti kimiċi, u l-proċess ta 'produzzjoni ta' ossiġnu ma jarmix sustanzi ta 'ħsara, li jissodisfa l-istandards ta' protezzjoni ambjentali ta 'l-industrija tas-semikondutturi. It-tagħmir juża l-istainless steel ta 'grad ta' l-ikel u l-passaturi molekulari li jnaddfu waħedhom, b'ċiklu ta 'manutenzjoni sa 3-5 snin, u huwa adattat għal ambjenti ta' manifattura ta 'wejfer ta' naddaf għoli.

kategorija | Dettalji tal-parametri |
Purità ta 'ossiġnu | 93% -99. 5% (sistema ta 'filtrazzjoni ulpa tista' tiġi personalizzata, kontenut ta 'impurità inqas minn jew daqs 1ppb) |
Pressjoni tal-ħruġ | 0. 5-1. 5MPa (aġġustabbli, adattat għall-istandard tal-konsum tal-arja tat-tagħmir tas-semikondutturi) |
Firxa tal-fluss | 10-5000 nm³ / h (jappoġġja espansjoni parallela ta 'unitajiet multipli) |
Punt tan-nida | Inqas minn jew daqs {-70 grad (biex tevita l-fwar tal-ilma milli jniġġes l-ambjent tal-proċess) |
Effiċjenza fl-enerġija | Inqas minn jew daqs 0. 38KWH / NM³ (drive ta 'frekwenza varjabbli ta' effiċjenza għolja, iffrankar ta 'enerġija aktar minn 30%) |
Livell tal-ħoss | Inqas minn jew daqs 65dB (struttura ta 'vibrazzjoni baxxa + qoxra li ma tagħmilx ħoss, f'konformità mal-istandards tal-kamra nadifa tal-klassi 1000) |
Il-vantaġġi ewlenin tal-ġeneratur tal-ossiġnu PSA
Garanzija ta 'purità ultra-għolja
Sodda ta 'passatur molekulari b'saff doppju u unità ta' ossidazzjoni katalitika huma wżati biex ineħħu profondament impuritajiet bħal idrokarburi u co₂, u l-purità tal-ossiġnu tilħaq aktar minn 99.5%, li tissodisfa l-istandard semi-F20. Analizzatur onlajn f'ħin reali integrat, sinkronizzazzjoni tad-dejta mas-sistema SCADA tal-fabbrika biex tiżgura l-istabbiltà tal-proċess.
Kontroll intelliġenti u disinn żejjed
Sistema integrata ta 'kontroll PLC + HMI, tappoġġja monitoraġġ mill-bogħod, awto-dijanjosi ta' difetti u bidla ta 'emerġenza (adsorbiment żejjed ta' torri doppju). Teknoloġija awtomatika ta 'kumpens għall-pressjoni biex tlaħħaq mad-domanda istantanja ta' fluss għoli ta 'tagħmir semikondutturi.
Soluzzjoni li tiffranka l-enerġija b'livell baxx ta 'karbonju
VPSA (adsorbiment ta 'tbandil tal-pressjoni bil-vakwu) teknoloġija sinerġika tnaqqas il-konsum tal-enerġija, tiffranka 15% -20% enerġija meta mqabbla mal-modulu tradizzjonali ta' rkupru tas-sħana PSA.Optional skart biex tnaqqas it-tagħbija tas-sħana tal-workshop.
Kompatibilità tal-kamra nadifa
Il-kanal kollu tal-fluss tal-istainless steel + kisi nano biex tiġi evitata kontaminazzjoni tal-joni tal-metall; Disinn ta 'siġillar ta' tnixxija żero, mgħoddi ISO 8573-1 Ċertifikazzjoni tal-Klassi 0.
Tipi ta 'pjanti ta' ossiġnu PSA

Tagħmir modulari

Tagħmir tat-Torri Twin

Tagħmir kontenitur
Serje NTK95 Għażla tal-Ġeneratur tal-Ossiġenu PSA | ||||||
LE. | Mudelli | Kapaċità (Nm3 / hr) |
Purità | Konsum ta 'enerġija ta' 1NM3 ossiġenu prodott (kW / h) |
Numru ta 'fliexken flled fi 12-il siegħa (PCs) |
Operatur meħtieġ |
1 | Ntk 95-5 p | 5 | 95%+-1% | 3.54 | 10 | 2 |
2 | Ntk 95-10 p | 10 | 95%+-1% | 2.52 | 20 | 2 |
3 | Ntk 95-15 p | 15 | 95%+-1% | 2.31 | 30 | 2 |
4 | Ntk 95-20 p | 20 | 95%+-1% | 2.13 | 40 | 2 |
5 | Ntk 95-25 p | 25 | 95%+-1% | 2.01 | 50 | 2 |
6 | Ntk 95-30 p | 30 | 95%+-1% | 2.09 | 60 | 2 |
7 | Ntk 95-40 p | 40 | 95%+-1% | 1.81 | 80 | 2 |
8 | Ntk 95-50 p | 50 | 95%+-1% | 1.94 | 100 | 2 |
9 | Ntk 95-60 p | 60 | 95%+-1% | 1.62 | 120 | 2 |
10 | Ntk 95-80 p | 80 | 95%+-1% | 1.92 | 160 | 2 |
11 | Ntk 95-100 p | 100 | 95%+-1% | 1.83 | 200 | 2 |
FAQ
1. Kemm tista 'tkun għolja l-purità tal-ossiġnu, u tissodisfa r-rekwiżiti tal-manifattura tas-semikondutturi?
Il-ġeneratur tal-ossiġenu PSA tagħna għal semikondutturi jista 'jipproduċi ossiġnu ta' rutina b'purità ta '95% ± 3%. Għal xi proċessi li jeħtieġu purità ta 'ossiġnu estremament għolja, billi jiġu aġġustati l-parametri tat-tagħmir, il-purità tal-ħruġ tal-ossiġnu tista' tiġi kkontrollata b'mod flessibbli fil-firxa ta '95% - 99. 9%, tissodisfa kompletament ir-rekwiżiti stretti għall-purità tal-gass fil-links tal-qalba bħal-il-litografija tas-semikondutturi, it-tindif, u l-ossidazzjoni.
2. Kemm huwa stabbli t-tagħmir, u jista 'jiżgura t-tħaddim kontinwu tal-linja ta' produzzjoni tas-semikondutturi?
It-tagħmir jadotta torri ta 'adsorbiment doppju li jalterna mod ta' ħidma, flimkien ma 'sistema ta' kontroll intelliġenti PLC, biex tinkiseb 24- siegħa bla interruzzjoni u provvista ta 'ossiġnu stabbli. Din il-modalità ta 'tħaddim awtomatizzata tevita interruzzjonijiet tal-provvista tal-gass ikkawżati minn sostituzzjoni manwali tal-flixkun, tipprovdi provvista ta' gass affidabbli u stabbli għal proċessi bħal deposizzjoni ta 'film irqiq u inċiżjoni li huma sensittivi għall-pressjoni tal-arja, u tnaqqas b'mod effettiv ir-riskju ta' interruzzjonijiet tal-produzzjoni kkawżati minn problemi ta 'provvista tal-gass.
3. Meta mqabbel mal-metodi tradizzjonali tal-provvista tal-ossiġnu, x'inhi l-ispiża tal-użu?
Meta mqabbel ma 'tankijiet tal-ħażna tal-ossiġnu likwidu jew ċilindri tal-gass bi pressjoni għolja, il-ġeneratur tal-ossiġnu PSA tagħna jadotta l-modalità tal-produzzjoni tal-ossiġnu fuq il-post, li jiffranka ħafna l-ispejjeż tat-trasport u l-ħażna tal-ossiġnu. It-tagħmir jokkupa żona żgħira u jista 'jiġi estiż b'mod modulari, u jnaqqas l-ispejjeż tal-kiri tas-sit. Fuq medda twila ta 'żmien, l-ispiża hija madwar 20% inqas mill-metodu tradizzjonali tal-provvista ta' ossiġnu, li jiffranka b'mod sinifikanti l-ispejjeż operattivi.
4. Il-manutenzjoni tat-tagħmir hija kkumplikata? Kemm huwa twil iċ-ċiklu ta 'manutenzjoni?
It-tagħmir huwa faċli biex jinżamm, bl-użu ta 'azzar li ma jissaddadx ta' grad ta 'l-ikel u passaturi molekulari li jnaddfu lilhom infushom, li jnaqqsu ħafna l-ammont ta' xogħol ta 'manutenzjoni. Taħt ċirkostanzi normali, iċ-ċiklu ta 'manutenzjoni huwa sakemm 3-5 snin, u aħna mgħammra b'tim professjonali ta' wara l-bejgħ biex nipprovdu appoġġ tekniku fi kwalunkwe ħin biex jgħinuk issolvi problemi waqt l-operat tat-tagħmir.
Att issa biex tiżgura l-katina tal-provvista tal-ossiġnu tiegħek
✅ Soluzzjonijiet personalizzati:
Għidilna l-kapaċità tas-sodda tiegħek u d-domanda tal-quċċata għal proposta mfassla apposta.
✅ Kunsinna mgħaġġla:
Moduli inġinerija minn qabel mibgħuta fil-ġimgħat 8-12.
✅ Għażliet ta 'finanzjament:
Pjanijiet ta 'kiri għal proprju disponibbli.
Numru tat-telefon
+86 15888864725
Numru WhatsApp
+86 15888864725
sales@newtek-group.com
It-tags Popolari: Ġeneratur ta 'ossiġnu PSA għal semikondutturi, ġeneratur ta' ossiġnu PSA taċ-Ċina għal semikondutturi, fornituri, fabbrika
Par ta ' l-
leLi jmiss
Ġeneratur tal-ossiġnu medikuIbgħat l-inkjesta
Ikkuntattjani
Ikteb il-Messaġġ Tiegħek